Dijelovi od titana za poluvodiče

1. Ultra-kontrola otpuštanja nečistoća

Usvajamo shemu obrade keramičkih alata + alata bez -željeza tijekom cijelog procesa proizvodnje. Svi pomoćni materijali koji su u kontaktu s radnim predmetom prolaze kroz tri kruga pročišćavanja ispiranjem kiselinom, uz strogu kontrolu ukupnog sadržaja željeza, kroma itd. da bude unutar 0,02%. Time se u potpunosti izbjegava uobičajeni problem kontaminacije metalnim ionima u poluvodičkim procesima i sprječava stvaranje prekomjernih metalnih ostataka na površini ploče. Smanjuje rizik od kratkog spoja strujnog kruga sa strane materijala.

 

2. Dugotrajna-otpornost na koroziju

Nakon što je dio oblikovan, podvrgnut će se dvije različite koncentracije uranjanja u slabu oksidirajuću otopinu za pasivizaciju. Na površini će se stvoriti jednolik zaštitni film od titan dioksida debljine 8-10 nm. Čak i kada se izloži razrijeđenoj fluorovodičnoj kiselini i miješanim otopinama dušične kiseline u procesu čišćenja poluvodiča tijekom 2000 sati neprekidno, neće doći do odvajanja udubljenja i nečistoća koje će ogrebati površinu ploče.

 

3. Visoko{1}}precizna stabilnost dimenzija

Tijekom obrade, cijeli proces koristi raspršivač tekućeg dušika za stalnu kontrolu temperature, kontrolirajući deformacije nastale tijekom obrade unutar 0,003 mm. Prije napuštanja tvornice, gotovi proizvodi podvrgavaju se 24-satnim cikličkim testovima na visokim i niskim temperaturama. Čak i kada dugo radite u okruženju poluvodičkog procesa na 180 stupnjeva, neće doći do deformacijskog ometanja i deformacijskog zadržavanja. Nema potrebe za čestim rastavljanjem i podešavanjem točnosti poravnanja.

 

4. Niska ispušna stopa pogodna za vakuumsko okruženje

Svi dijelovi su prvo podvrgnuti vakuumskom pečenju na 120 stupnjeva tijekom 48 sati za tretman otplinjavanjem. Vodena para i sitne čestice adsorbirane na površini potpuno su uklonjene. Nakon ugradnje u poluvodičku vakuumsku komoru, može pomoći da oprema postigne ciljni stupanj vakuuma 25% brže nego upotrebom običnih dijelova od nehrđajućeg čelika, smanjujući gubitak vremena čekanja na pumpanje vakuuma.

1. Posuda za vafle za PVD stroj za taloženje parom

Koristi se za podupiranje silikonske pločice koju treba premazati. U visoko{1}}temperaturnom okruženju raspršivanja ciljanog materijala, titanski dio neće reagirati s plinom za raspršivanje i neće otpustiti suvišne nečistoće u komoru, što može poboljšati ujednačenost sloja metalnog filma nanesenog na površinu ploče za 5%, izbjegavajući problem curenja strugotine uzrokovan nedovoljnom debljinom metalnog sloja. Prikladan je za zahtjeve proizvodnje premaza od 28n i nižih procesa.

 

2. Nosač vafla za stroj za mokro čišćenje

U RCA standardnom postupku čišćenja, stalak je u potpunosti uronjen u jake kiseline i jake alkalne otopine za čišćenje. Titanski materijal neće biti korodiran i stvarati krhotine, te se neće lijepiti za površinu pločice i uzrokovati kontaminaciju česticama. Može smanjiti stopu defekta čestica kod čišćenja pojedinačne serije pločica za 12%. U isto vrijeme, karakteristika male težine stalka također može smanjiti opterećenje prijenosa stroja za čišćenje i smanjiti potrošnju energije opreme.

 

3. Sjedalo za fiksiranje elektroda za stroj za ionsku implantaciju

Koristi se za pričvršćivanje visoko{0}}naponskih elektroda u stroju. Ne-magnetsko svojstvo titana neće ometati putanju ionske zrake, dopuštajući da se dubinsko odstupanje implantacije iona kontrolira unutar vrlo malog raspona, izbjegavajući problem nejednake doze ubrizgavanja u lokalno područje pločice. Značajno poboljšava dosljednost električnih performansi čipa.

 

4. Spojna prirubnica za poluvodički vakuumski cjevovod

Spajanje različitih dijelova vakuumskog cjevovoda stroja. Niska stopa ispuštanja titana može održavati visoko-čisto vakuumsko okruženje unutar cjevovoda i neće uzrokovati fluktuacije u stupnju vakuuma zbog otpuštanja plina običnih prirubnica od nehrđajućeg čelika nakon dugotrajne-uporabe. Smanjuje broj alarma za gašenje stroja potaknutih abnormalnostima vakuuma i produljuje kontinuirano vrijeme rada proizvodne linije za 30%.

1. Prilagodba ne-standardnih dimenzija

Oslanjajući se na naš vlastiti 5-osni obradni centar, duljina, širina i visina dijelova mogu se prilagoditi prema prostoru ugradnje postojeće poluvodičke opreme kupca. Nema potrebe da kupac mijenja sučelje opreme, a prvi uzorak može biti isporučen unutar 7 dana.

 

2. Prilagodba stanja površine

Dvije metode površinske obrade mogu se odabrati prema zahtjevu: zrcalno poliranje i mat pjeskarenje. Prikladni su za različite zahtjeve čistoće proizvodnog procesa i mogu izbjeći prianjanje čestica koje utječe na proizvodno okruženje poluvodiča.

 

3. Prilagodba posebnih sučelja

Posebne strukture kao što su posebni utori za kartice i otvori za pozicioniranje mogu se prilagoditi kako bi u potpunosti odgovarali zahtjevima za sklapanje opreme koju je sam-razvio kupac. Nije potrebno dodavati dodatne komponente adaptera.

Artikal	Specifikacija
Naziv proizvoda	Dijelovi od titana za poluvodiče
Materijal	Čisti titan (razred 2), legura titana (razred 5 Ti-6Al-4V)
Proces proizvodnje	CNC obrada, tokarenje, glodanje, brušenje, zavarivanje
Dostupni oblici	Ploča, prsten, cijev, šipka, blok, prilagođeni dijelovi
Dimenzije	Prilagođeno prema crtežima ili uzorcima
Tolerancija	Do ±0,01 mm
Površinska obrada	Polirano, pjeskareno, dekapirano, anodizirano, precizno strojno obrađeno
Hrapavost površine	Ra 0,2–1,6 μm (dostupno po narudžbi)
Čistoća	Do 99,6% (titan 2. stupnja)
Radna temperatura	Do 400 stupnjeva
Gustoća	4,51 g/cm³
Tvrdoća	Stupanj 2: HB 145–200; 5. stupanj: HRC 30–36
Otpornost na koroziju	Izvrsna otpornost na kiseline, lužine i procesne kemikalije
Kemijska kompatibilnost	Prikladno za poluvodičke kemikalije i okoline ultra{0}}visoke čistoće
Inspekcija	Provjera dimenzija, Certifikacija materijala, Provjera površine

 

 

 

Popularni tagovi: dijelovi od titana za poluvodiče, Kina dijelovi od titana za poluvodiče proizvođači, dobavljači, tvornica, titanijski cnc dijelovi s 5 osi, Strojno obrađeni dijelovi od titana anodizirani, dijelovi za kemijsku obradu titana, dijelovi obrađeni titanom CNC strojno, dijelovi od titana otporni na toplinu, titanske visokoprecizne cnc komponente